?MEMS傳感器是基于微機(jī)電系統(tǒng)的典型傳感器件。它是指可以批量制造的，集微結(jié)構(gòu)、微傳感器、微執(zhí)行器以及信號(hào)處理和控制電路于一體的器件或系統(tǒng)。其特征尺寸一般在0.1μm～100μm范圍。MEMS集成了當(dāng)今科學(xué)技術(shù)的許多尖端成果，它將感知信息處理與執(zhí)行機(jī)構(gòu)相結(jié)合，改變了人類感知和控制外部世界的方式。
從全球產(chǎn)業(yè)競(jìng)爭(zhēng)格局來(lái)看，2018年中國(guó)MEMS傳感器行業(yè)銷售規(guī)模排名全球第一，占全球比重達(dá)23.82%，其次為美國(guó)(15.61%)、韓國(guó)(9.03%)和日本(8.01%)。此外德國(guó)(6.57%)、英國(guó)(3.29%)等少數(shù)經(jīng)濟(jì)發(fā)達(dá)國(guó)家也占據(jù)了重要份額，中東、非洲等地區(qū)所占份額相對(duì)較少。
未來(lái)，隨著全球電子制造產(chǎn)業(yè)鏈加速向亞太地區(qū)，轉(zhuǎn)移，憑借成本等優(yōu)勢(shì)，MEMS產(chǎn)業(yè)重心也將不斷東遷，亞太地區(qū)的MEMS產(chǎn)業(yè)規(guī)模也將持續(xù)增長(zhǎng)。此外，亞太地區(qū)也是消費(fèi)電子、汽車和工業(yè)領(lǐng)域的主要市場(chǎng)，亞太地區(qū)已成為大型投資和業(yè)務(wù)擴(kuò)張機(jī)會(huì)的全球焦點(diǎn)。而中國(guó)是亞太地區(qū)MEMS發(fā)展?jié)摿ψ畲蟆⒃鏊僮羁斓氖袌?chǎng)，尤其是移動(dòng)互聯(lián)網(wǎng)與物聯(lián)網(wǎng)的快速發(fā)展，將對(duì)MEMS產(chǎn)業(yè)產(chǎn)生深遠(yuǎn)影響，催生出大量創(chuàng)新產(chǎn)品及應(yīng)用，帶動(dòng)MEMS產(chǎn)品在工業(yè)生產(chǎn)及日常生活的普及化。
MEMS主要應(yīng)用于消費(fèi)電子領(lǐng)域
MEMS傳感器作為獲取信息的關(guān)鍵器件，對(duì)各種傳感裝置的微型化起著巨大的推動(dòng)作用，由最早的工業(yè)、軍用航空應(yīng)用走向普通的民用和消費(fèi)市場(chǎng)。
MEMS傳感器廣泛應(yīng)用于社會(huì)、發(fā)展及人類生活都的各個(gè)領(lǐng)域，如工業(yè)自動(dòng)化、農(nóng)業(yè)現(xiàn)代比、航天技術(shù)、軍事工程、機(jī)器人技術(shù)、資源開(kāi)發(fā)、海洋探測(cè)、環(huán)境監(jiān)測(cè)、安全保衛(wèi)、醫(yī)療診斷、交通運(yùn)輸、家用電器等。分行業(yè)來(lái)看，MEMS傳感器制造行業(yè)主要應(yīng)用領(lǐng)域包括工業(yè)檢測(cè)、汽車、醫(yī)療、環(huán)境保護(hù)、航空航天等。具體用途如下表：
MEMS傳感器應(yīng)用領(lǐng)域正在不斷擴(kuò)張，從全球范圍來(lái)看，消費(fèi)電子仍是MEMS的第一大市場(chǎng)，占比41.8%，這主要得益于在智能家居、智能手機(jī)和可穿戴設(shè)備等領(lǐng)域的機(jī)會(huì)日益增多。
?? 醫(yī)療電子位居第二，占比28.1%，歸功于MEMS在臨床監(jiān)測(cè)中的廣泛應(yīng)用，如心電圖患者監(jiān)測(cè)和腦電圖測(cè)量;以及成像應(yīng)用，如CT成像和數(shù)字X射線。此外，MEMS還被用于診斷和治療設(shè)備的定位應(yīng)用，包括外科手術(shù)臺(tái)等設(shè)備的高精度定位，以及假肢和患者監(jiān)測(cè)應(yīng)用，如運(yùn)動(dòng)和位置監(jiān)測(cè)。醫(yī)療電子上的MEMS器件附加值很高，平均售價(jià)遠(yuǎn)高于其他MEMS應(yīng)用領(lǐng)域。
2018年我國(guó)MEMS市場(chǎng)的最大應(yīng)用領(lǐng)域仍是消費(fèi)電子，市場(chǎng)份額達(dá)到26.87%。隨著無(wú)人駕駛和新能源汽車的發(fā)展，汽車電子領(lǐng)域MEMS快速增長(zhǎng)，2018年市場(chǎng)份額達(dá)到18.08%，位居第二。在5G通信和物聯(lián)網(wǎng)的帶動(dòng)下，MEMS陀螺儀、MEMS加速度等產(chǎn)品用量得到快速提高，因此網(wǎng)絡(luò)通信成為中國(guó)MEMS市場(chǎng)增長(zhǎng)最快的應(yīng)用領(lǐng)域，市場(chǎng)份額達(dá)到5.86%。
目前，我國(guó)MEMS傳感器在消費(fèi)電子、汽車、工業(yè)等行業(yè)應(yīng)用較廣。2019-2025年，消費(fèi)電子左右MEMS最大的應(yīng)用領(lǐng)域，預(yù)計(jì)將保持9.4%的年均復(fù)合增速增長(zhǎng)，汽車電子領(lǐng)域保持10%的年均增速，工業(yè)控制領(lǐng)域的增長(zhǎng)率達(dá)到8.7%。醫(yī)療保健領(lǐng)域的應(yīng)用規(guī)模增長(zhǎng)最快，年均復(fù)合增速高達(dá)14.6%;其次，航空國(guó)防領(lǐng)域的應(yīng)用規(guī)模增速也不容忽視，2019-2025年復(fù)合增速達(dá)13.3%。
MEMS中屬壓力傳感器份額最大
從全球產(chǎn)品結(jié)構(gòu)來(lái)看，市場(chǎng)份額最大是壓力傳感器，主要得益于在工業(yè)和消費(fèi)品等領(lǐng)域的廣泛應(yīng)用，市場(chǎng)占比達(dá)到21%;其次是射頻傳感器、加速度傳感器、MEMS麥克風(fēng)，受益于5G手機(jī)、智能音箱、可穿戴設(shè)備等消費(fèi)類電子產(chǎn)品的帶動(dòng)，市場(chǎng)占比均超過(guò)10%;然后慣性傳感器(如加速度計(jì)、陀螺儀、磁力計(jì)和慣性組合傳感器)的市場(chǎng)占比9%，其在汽車電子當(dāng)中的應(yīng)用——如電子穩(wěn)定控制(ESC)、牽引控制系統(tǒng)(TCS)和防抱死制動(dòng)系統(tǒng)(ABS)，市場(chǎng)份額正在不斷增加。